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經(jīng)濟實用的神視SUNX晶圓定位傳感器

描述:經(jīng)濟實用的神視SUNX晶圓定位傳感器
反應(yīng)時間500μs以下
工作狀態(tài)指示燈橙色LED(輸出ON時亮起)
穩(wěn)定指示燈綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)
定時器功能裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式

  • 產(chǎn)品型號:SD3-CP-C10
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-03-03
  • 訪問量:1216
產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION

經(jīng)濟實用的神視SUNX晶圓定位傳感器

特點應(yīng)用:

而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

0.5ms的高速反應(yīng)

實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置檢測

利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

測量距離 45mm

檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下

M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

亦可檢測玻璃晶圓

可檢測涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì),吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。

產(chǎn)品型號:

寶德 

壓力表 00444504,PRESS:8311,4-20MA,12-30V,0-20bar     

球閥 00226498,VL-521T,1/2",225192    

球閥 00226502,VL-521T,2",225196 

 

Ross

W6476B3401  ROSS

氣動換向閥  2776B6011

三位五通電磁閥 W7077C6331-ROSS帶24DC電磁線圈

二位三通換向閥 2774B9001-ROSS常開式

帶DC24V電磁線圈 ROSS 1個

二位三通換向閥 2773B9001-ROSS帶DC24控制線圈

經(jīng)濟實用的神視SUNX晶圓定位傳感器

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